Kirish
HD70Relektron magnit nasosbu yuqori aniqlikdagi suyuqlik uzatish moslamasi boʻlib, faqat elektronika ishlab chiqarish sanoati uchun ishlab chiqilgan boʻlib, aniq kimyoviy magnit nasos va ultra toza magnit nasos tizimi sifatida ishlaydi. Muhrsiz magnit qo'zg'alish strukturasini qabul qilib, u elektron ustaxonalar uchun qat'iy tozalik standartlariga to'liq mos keladigan ish davomida nol oqma va nol ifloslanishga erishadi.
Barcha hoʻllangan qismlar ultra{0}}yuqori soflikdagi toza materiallardan tayyorlangan boʻlib, yuzalari aniq silliqlangan boʻlib, ularda choʻkma yoki ionli ifloslanish yoʻq. U elektron{2}}yuqori{3}}tozalikdagi reagentlar, fotorezist kimyoviy moddalar va ultra-toza suvning barqaror uzatilishini ta'minlaydi. Oddiy ichki-boʻsh joy-bilan bu ultra toza magnit nasos tizimi oʻrtacha qoldiq va oʻzaro ifloslanishning oldini olish uchun onlayn tozalashni qoʻllab-quvvatlaydi. Kam shovqin, minimal pulsatsiya va aniq, barqaror oqim tezligi bilan HD70R yarimo'tkazgichlar, elektron platalar va nozik elektronika ishlab chiqarish liniyalarida 24/7 uzluksiz ishlaydi. Bu elektronika sohasida ultra-toza va yuqori-aniqlikdagi suyuqliklarni uzatish uchun ideal tanlovdir.
Mahsulotning strukturaviy sxemasi
Texnik parametr
Model | Quvur interfeysi | Spiral interfeysR-M RX-MRZ-M | Maksimal sig'im (L/min) | Maksimal bosh (m) | Maxsus vazn | Dvigatel | Og'irligi (kg) | |||
Kirish (mm) | Chiqish (mm) | Kirish / chiqish | Birlashma o'lchamlari (mm) | 50Hz/60Hz | 50Hz/60Hz | Chiqish (w) 50Hz/60Hz | Bosqich | |||
HD70R | 26 | 26 | G1 | 20 | 86/97 | 6.7/9.7 | 1.0 | 150/180 | 1 yoki 3 | 6.6 |
Ishlash egri chizig'i
Asosiy afzalliklari
1. Ultra{1}}tozalikdagi material, nol ion yog‘inlari
Namlangan qismlar maxsus tozalash bilan ishlov berilgan maxsus elektron{0}}yuqori{1}}tozalikdagi materiallardan tayyorlangan. Standart magnit nasoslar bilan solishtirganda, u metall ionlari va organik aralashmalarning cho'kishini sezilarli darajada kamaytiradi, yuqori{3}}tozalikdagi reagentlar va fotorezist eritmalarning ifloslanishini samarali oldini oladi va yarimo'tkazgich ishlab chiqarish kabi yuqori-tozalik jarayonlari uchun idealdir.
2. Past pulsatsiya bilan aniq mikro{1}}oqim yetkazib berish
Murakkab gidravlik tuzilma bilan qurilgan HD70R nozik kimyoviy magnit nasosi oqimni boshqarishning yuqori aniqligi va juda past suyuqlik pulsatsiyasini ta'minlaydi. Bu nozik kimyoviy moddalar tarkibiga ta'sir qilmaydi va elektron ishlab chiqarishda yuqori barqaror oqim va bosim uchun qat'iy talablarga javob beradi.
3. Toʻliq oyna-oʻlik{2}}boʻsh joy-bepul oqim kanali
Integral tarzda tartibga solingan nasos bo'shlig'i oddiy toza nasoslarning tozalik standartlaridan oshib ketadigan bo'shliqlarsiz to'liq oynali sayqallangan. Tozalashdan keyin hech qanday qoldiq qoldirmaydi va yuqori{2}}tozalikdagi turli xil vositalar oʻrtasida oʻzaro{1}}oʻzaro ifloslanishning oldini oladi.
4. Tashqi zarrachalarga qarshi to'liq muhrlangan himoya
Ultra toza magnit nasos tizimining bir qismi sifatida to'liq yopiq struktura ustaxonadagi chang va to'xtatilgan zarrachalarni nasosga kirishiga to'sqinlik qiladi. U changdan tozalangan{1}elektron ustaxonalarning ish muhitiga mos keladi va uzatiladigan muhitni har doim ultra-toza holatda saqlaydi.
5. Uzluksiz ishlab chiqarish uchun-uzoq muddatli barqaror ishlash
Aniq{0}}kalibrlangan uzatma va qoʻllab-quvvatlash komponentlari ultra-past tebranish va shovqin hamda charchoqqa chidamliligini taʼminlaydi. Nasos elektron ishlab chiqarish liniyalarida uzluksiz ishlab chiqarishni kafolatlash uchun 24/7 uzluksiz ishlashni qo'llab-quvvatlaydi.
Oddiy ilovalar
● Yarimoʻtkazgichli fotolitografiya ishlab chiqaruvchisining yopiq-paketi
Ikki tomonlama materialni tozalash usulini qo'llagan HD70Relektron magnit nasosiz metall ionlarining yog'inlarini yo'q qiladi, fotolitografiya kimyoviy moddalarining fotosensitiv etishmovchiligini oldini oladi va gofret hosilini barqarorlashtiradi.
● Panel zavodlari uchun ultra-toza suvning past-pulsatsiyali tarmoqli tashish
Oʻz-oʻzidan ishlab chiqilgan past pulsatsiyali gidravlik pervanellar bilan jihozlangan ushbu nozik kimyoviy magnit nasos ultra{3}}toza suvning barqaror molekulyar tuzilishini buzmasdan, suv oqimining oʻzgarishini 3% dan past ushlab turadi, bu esa qatʼiy ultra-toza suvni tashish ustaxonasi{{5} panellari uchun standartlarga mos keladi.
● Bir nechta fotorezistlarni changdan tozalash ustaxonalarida-almashtirish
Toʻliq oynali jilolangan choksiz oqim oʻtishlari va toʻliq yopiq tashqi himoyasi bilan u suyuq kimyoviy moddalarning oʻzaro ifloslanishini oldini oladi va havodagi havodagi zarrachalarning changdan tozalangan-ulovlarda tashiladigan suyuqliklarga aralashishini bloklaydi.
Hajmi (mm)
Model | W | H | L | a | b | c | h | e | f | g | i |
HD70R | 143 | 158 | 286 | 70 | 96 | 108 | 65 | 56.5 | 43 | 135 | 4-9*14 |
TSS
Savol: Materialni tozalash darajasi etarli emasligi sababli yarimo'tkazgich kimyoviy suyuqlik o'tkazish paytida metall ionlari cho'kadimi?
Javob: Muvofiq ish sharoitida haddan tashqari ion yog'inlari paydo bo'lmaydi. HD70R nozik kimyoviy magnit nasosining namlangan PTFE komponentlari kukun ichidagi ko'milgan metall qoldiqlarini olib tashlash uchun "birlamchi chang skrining va ikkilamchi vakuumli sinterlash" ning ikki tomonlama tozalash jarayonlarini qo'llaydi. Uchinchi tomonning zavod sinovi shuni ko'rsatadiki, metall ioni yog'inlari doimiy ravishda 0,1ppb dan kam yoki unga teng, bu yuqori tozalikdagi yarimo'tkazgich suyuqliklar uchun SEMI S22 standartlariga mos keladi. U 24/7 uzluksiz yopiq kontur uzatishni qoʻllab-quvvatlaydi-va yarimoʻtkazgichdagi aniq kimyoviy moddalarning ifloslanishini oldini oladi.
Savol: Changsiz ustaxonalardagi havodagi zarralar{0}}issiqlik tarqalish bo‘shliqlari orqali nasos bo‘shlig‘iga kirib, yarimo‘tkazgich va panel ishlab chiqarishni buzishi mumkinmi?
Javob: Bu standart chang-siz ish sharoitida sodir bo'lmaydi. Yopiq sendvich passiv issiqlik tarqalish strukturasini qabul qilish, HD70Relektron magnit nasosbarcha ochiq bo'shliq issiqlik tarqalish teshiklarini yo'q qiladi. -Statik PTFE mikrog'ovakli changdan himoyalangan-barcha qo'zg'alish bo'shliqlariga o'rnatilgan bo'lib, ular magnit komponentlarning issiqlik tarqalish talablarini qondiradi va 0,05 mkm dan katta yoki unga teng bo'lgan havodagi zarrachalarni ushlab turadi, ISO 1-sinf changsiz ustaxonalari uchun foydalanish talablariga javob beradi-.
Savol: HD70R ni qayerdan sotib olish mumkinelektron magnit nasos?
Javob: Siz bizning savdo guruhimizga elektron pochta orqali murojaat qilishingiz mumkinjuicy@sxhono.com.cnmahsulot spetsifikatsiyalarini, kotirovkalarni va tanlash bo'yicha tavsiyalarni olish. Agar sizda maxsus dastur talablari bo'lsa, biz sizga moslashtirilgan suyuqlik o'tkazish echimlarini ham taqdim eta olamiz.
Issiq teglar: elektron magnit nasos, Xitoy elektron magnit nasos ishlab chiqaruvchilari, etkazib beruvchilar, zavod
